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坂口电热SAKAGUCHI ExLASER?(X-Laser)多功能激光加热器 工业加热器

坂口电热SAKAGUCHI ExLASER®(X-Laser)多功能激光加热器 工业加热器

坂口电热SAKAGUCHI ExLASER®(X-Laser)多功能激光加热器 工业加热器



特点

  • 可以实现超高温升降
  • 用1次注射均匀加热2英寸基板
  • 可以直接加热到待加热物体
  • 温度控制适合工艺
  • 节能而不加热大气

应用实例

  • MBE设备的基板加热
  • 晶圆退火(SiC,GaAS等)
  • 可以对多层器件进行表面退火(与小型化器件兼容)

经验的例子

日本原子能机构,日本原子能研究开发机构
激光输出:100 W 
主体尺寸:H251×W200×D253(mm)

激光加热实验

EXL-CT-010DS55用于激光加热置于真空室中的样品。从样品的背面(与激光照射侧相反的一侧)测量温度分布。

1.蓝宝石衬底(φ2英寸)---适用于透明基板

温度分布

蓝宝石衬底的温度分布
(激光输出:1000 W)

快速升温/降温

蓝宝石衬底快速上升/下降温度(平均衬底温度)
(激光输出:1000 W)

2.温度斜坡---使用组合光学系统

温度分布

金属板的温度分布
(激光输出:86 W聚光)

温度梯度图

金属板的温度梯度

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标准规格

型号:EXL-CT-010-DS55
激光照射方法 直接型 体型 H 625 mm×W 700 mm×D 320 mm
激光输出 *大1千瓦 附件 专用冷水机组
激光波长 808纳米 额定 阀体:1P 200 V 20 A 
冷却器:1 P 200 V 15 A.
激光形状 一个正方形
光学系统(均匀性) 均质机(±5%) 备注 JST原始建模
开发产品(2005财年)
暖气区 □55毫米
工作距离 400毫米 -

※以上是标准规格。可以根据客户的要求进行更改。

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选项*大家将根据您的要求制造

  • 真空室
  • 温度控制器
    ·辐射温度计
    ·数字显示控制器
    ·红外传输窗口
  • 基板支架(适用于2英寸基板)
  • 组合光学系统,专用板支架(□10 mm基板兼容)
  • 各种基板(蓝宝石,硅,GaAs等)


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